從19世紀末到20世紀初，在物理學上發現了壓電效應和反壓電效應后，人們解決了利用電子技術產生超聲波的問題，迅速揭開了超聲波技術發展和推廣的歷史篇章。

20世紀60年代，研究人員發現，超聲波在一定頻率范圍內，通過能量轉換，將超聲波頻率轉換為振動能量，然后作用于液體介質，可以達到清潔效果，發現清潔效率高，比手動清潔更全面、更徹底，超聲波清潔逐漸應用于各行各業。

超聲波清洗的原理是這樣的。清洗機超聲波發生器發出的高頻振蕩信號通過轉換器轉換為高頻機械振蕩傳播到介質。清洗溶劑中的超聲波在清洗液中密集向前輻射，使液體流動產生數萬個小氣泡，液體中存在的小氣泡（空化核）在聲場的作用下振動。當聲壓達到一定值時，氣泡迅速生長，然后突然關閉。當氣泡關閉時，會產生沖擊波，周圍會產生數千個大氣壓力，破壞不溶性污垢，使其分散在清洗液中。當顆粒被油包裹并粘附在清洗部件表面時，油被乳化，固體顆粒被分離，從而達到清洗部件表面凈化的目的。